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对最尖端过程的新提案
最终的服务生礼服解决方案

真空室式涂布装置MBC-V的图片-1
・在减压下边的高精度的安定的涂布实现:也根据武藏独自的点胶技术在减压环境下边可以安定的涂敷。
・大量事前防止不良:搭载使在FAD5100S培养的UF专门化的两大机能DVM、AFC。经常确切逮捕发生变化过程,事前防止不良发生。
・建议最尖端过程的涂布自动化线:把搬运机器人连接的独立操作计算机,多腔,在线合计各种各样的自动化线,支援。

SPECIFICATION概略规格

名称
真空室式涂布装置MBC-V SERIES
型号
MBC-V SERIES
控制方式
PC+PLC
适用工件台
车载基板,电子设备,晶片